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名称 機関 メーカー 共用範囲
RD-1400
真空蒸着装置(2) (Thermal Evaporator No.2)
京都大学
(株)サンバック (SANVAC CO., LTD.)
学内学外とも共用
RIE-800iPB-KU
深堀りドライエッチング装置(1) (Reactive Ion Deep Silicon Etcher No.1)
京都大学
サムコ(株) (Samco Inc.)
学内学外とも共用
Gemini-200E
誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング装置 (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etcher)
京都大学
(株)アルバック (ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
RTP-6
赤外線ランプ加熱装置 (Rapid Thermal Annealing System)
京都大学
アドバンス理工(株) (ADVANCE RIKO, Inc.)
学内学外とも共用
LABCOTER PDS-2010
パリレン成膜装置 (Parylene Coater)
京都大学
日本パリレン合同会社 (Specialty Coating Systems Inc.)
学内学外とも共用
NE-730
ICP-RIE装置 (Inductive Coupled Plasma Reactive Ion Etcher)
京都大学
(株)アルバック (ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
FA-1
簡易RIE装置 (Tabletop Reactive Ion Etcher )
京都大学
サムコ(株) (Samco Inc.)
学内学外とも共用
WAP-100
ウエハ接合装置 (Surface Activated Wafer Bonder)
京都大学
ボンドテック(株) (Bondtech Co., Ltd.)
学内学外とも共用
TP-32937
ナノインプリント装置 (Nanoimprint Lithography)
京都大学
(株)マルニ (MARUNI CO., LTD.)
学内学外とも共用
DAD322
ダイシング装置 (Automatic Dicing Saw)
京都大学
(株)ディスコ (DISCO Corporation)
学内学外とも共用
Model 708fT
プローバ (Prober)
京都大学
(株)日本マイクロニクス (MICRONICS JAPAN CO., LTD.)
学内学外とも共用
PLV50
真空プローバ (Vacuum Probe System)
京都大学
カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.)
学内学外とも共用
MA/BA8 Gen3 SPEC-KU
両面マスク露光&ボンドアライメント装置
京都大学
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
Tanner Tools Pro
回路&レイアウト設計ツール (Ics Design & Layout Editor)
京都大学
タナーEDA
学内学外とも共用
MA6 BSA SPEC-KU/3
両面マスクアライナー (Manual High Precision Double-Sided Mask Aligner)
京都大学
ズース・マイクロテック
学内学外とも共用
AD-800LP-KN
原子層堆積装置 (Atomic Layer Deposition)
京都大学
サムコ
学内学外とも共用
EVG6200TBN
UVナノインプリント装置 (UV-based Nanoimprint Lithography)
京都大学
イーヴィグループ (EV Group)
学内学外とも共用
EVG6200TBN
熱インプリント装置 (Hot Embossing System)
京都大学
イーヴィグループ (EV Group)
学内学外とも共用
Eitre3
ナノインプリントシステム (Nanoimprint Lithography)
京都大学
Obducat
学内学外とも共用
OVE-350
電子線蒸着装置 (2) (Electron Beam Evaporator No.2)
京都大学
大阪真空機器製作所
学内学外とも共用
RIE-800iPB-KU
深堀りドライエッチング装置 (2) (Reactive Ion Deep Silicon Etcher No.2)
京都大学
サムコ
学内学外とも共用
B1505A
パワーデバイスアナライザ (Power Device Analyzer & Curve Tracer)
京都大学
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
学内学外とも共用
4294A
インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer)
京都大学
アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
学内学外とも共用
MLD-230D-200K
光ヘテロダイン微小振動測定装置 (Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer )
京都大学
ネオアーク(株) (NEOARK Corporation)
学内学外とも共用
ENT-2100
超微小材料機械変形評価装置 (Nano-Indenter)
京都大学
(株)エリオニクス (ELIONIX INC.)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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