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名称 機関 メーカー 共用範囲
Eitre 3
ナノインプリント装置 (Nanoimprint system)
大阪大学
オブデュキャット (Obducat)
学内学外とも共用
RIE-400iPB-NP
深掘りエッチング装置 (Deep etching system)
大阪大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
RIE-10NR-NP
リアクティブイオンエッチング装置 (Reactive ion etching system)
大阪大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
RIE-10NOU
リアクティブイオンエッチング装置 (Reactive ion etching system)
大阪大学
サムコ (Samco)
学内学外とも共用
ARF-30K
高温熱処理装置(セラミックス電気管状炉) (Electric Furnace)
大阪大学
誠南工業株式会社 (Seinan Industries Co., Ltd)
学内学外とも共用
EB1100
多元DC/RFスパッタ装置 (Multi-target DC/RF sputtering system)
大阪大学
キャノンアネルバ (CANON ANELVA)
学内学外とも共用
SVC-700LRF
RFスパッタ成膜装置(金属成膜用)(RF sputtering system (metal))
大阪大学
サンユー電子 (Sanyu Electron)
学内学外とも共用
SVC-700LRF
RFスパッタ成膜装置(絶縁体成膜用)(RF sputtering system (oxide))
大阪大学
サンユー電子 (Sanyu Electron)
学内学外とも共用
MB02-5002
誘導結合型RFプラズマ支援スパッタ装置(ICP-RFスパッタ装置)(RF-Sputtering System with Inductively Coupled Plasma )
大阪大学
株式会社アルバック (ULVAC, Inc.)
学内学外とも共用
UEP-2000 OT-H/C
EB蒸着装置 (EB deposition system)
大阪大学
アルバック (ULVAC)
学内学外とも共用
PLO-020R
パルスレーザーMBE装置(PLD)(Pulse Laser Deposition System)
大阪大学
誠南工業株式会社 (Seinan Industries Co., Ltd)
学内学外とも共用
MC-LMBE
自動制御型パルスレーザ蒸着ナノマテリアル合成装置 (Automatic pulsed laser deposition nano-materials synthesis system)
大阪大学
株式会社パスカル (Pascal Co.,Lid.)
学内学外とも共用
Hipp-3
表面化学実験ステーション (Surface chemistry experimental apparatus)
日本原子力研究開発機構
SPring-8 BL23SU
オミクロン (Omicron)
学内学外とも共用
走査型X線透過顕微鏡 (Scanning Transmission X-ray microscopy apparatus)
日本原子力研究開発機構
SPring-8 BL23SU
カスタム (Home-made)
学内学外とも共用
光電子アナライザー: EW4000-10keV
硬X線光電子分光装置
日本原子力研究開発機構
SPring-8 BL22XU
シエンタオミクロン社 (Scienta Omicron, Inc.)
学内学外とも共用
なし
高輝度放射光XAFSシステム (XAFS measuring station)
日本原子力研究開発機構
SPring-8 BL22XU
カスタム (Home-made)
学内学外とも共用
M11427-43 CT5000
応力・イメージング測定装置 (The apparatus for imaging and measuring material stress)
日本原子力研究開発機構
SPring-8 BL22XU
浜松ホトニクス 米倉製作所 DEBEN (Hamamatsu Photonics K.K. YONEKURA MFG. Co., Ltd. DEBEN)
学内学外とも共用
特注
カッパ型多軸回折計 (κ-type X-ray diffractometer)
日本原子力研究開発機構
SPring-8 BL22XU
ニューポート (Newport)
学内学外とも共用
なし
エネルギー分散型XAFS装置 (Energy-dispersive XAFS measuring station)
日本原子力研究開発機構
SPring-8 BL14B1
カスタム (Home-made)
学内学外とも共用
電子分析アナライザー: SES-2002
軟X線光電子分光装置 (Soft X-ray photoelectron spectrometer)
日本原子力研究開発機構
カスタム(電子分析アナライザー: VG Scienta)(Home-made (Electron Analyzer: VG Scienta))
学内学外とも共用
なし(特別仕様)
放射光メスバウアー分光装置 (Synchrotron radiation Mossbauer spectrometer)
量子科学技術研究開発機構
SPring-8 BL11XU
神津精機(株)ほか (Kohzu Precision Co., Ltd., etc.)
学内学外とも共用
なし(特別仕様)
共鳴非弾性X線散乱装置 (Resonant inelastic X-ray scattering spectrometer)
量子科学技術研究開発機構
SPring-8 BL11XU
神津精機(株)ほか (Kohzu Precision Co., Ltd., etc.)
学内学外とも共用
なし(特別仕様)
表面X線回折計 (Surface X-ray diffractometer)
量子科学技術研究開発機構
SPring-8 BL11XU
神津精機(株)ほか (Kohzu Precision Co., Ltd., etc.)
学内学外とも共用
なし(特別仕様)
高温高圧プレス装置 (High-pressure and high-temperature X-ray deffractometer)
量子科学技術研究開発機構
SPring-8 BL14B1
有限会社オーサワシステムほか (Osawa system LLC/Ltd., etc.)
学内学外とも共用
なし(特別仕様)
コヒーレントX線回折イメージング装置 (Diffractometer for coherent X-ray diffraction imaging)
量子科学技術研究開発機構
SPring-8 BL22XU
HUBER社(ドイツ)ほか (Huber Diffraktionstechnik GmbH & Co. KG, etc.)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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