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名称 機関 メーカー 共用範囲
JSM-7100F
EBSD解析装置 (EBSD analyzer)
広島大学
日本電子 (JEOL Ltd.)
学内学外とも共用
JSM-IT800
走査電子顕微鏡
広島大学
日本電子
学内学外とも共用
SPI3800
原子間力顕微鏡 (AFM)
広島大学
セイコーインスツルメンツ (Seiko Instruments Inc.)
学内学外とも共用
M2000-D
分光エリプソメーター (Spectroscopic ellipsometer)
広島大学
J.A. Woollam Japan (J.A. Woollam Japan)
学内学外とも共用
ESCA-3400
X線光電子分光装置(XPS) (X-ray photoelectron spectroscopy)
広島大学
クレイトスアナリティカル
学内学外とも共用
SIMS6650
二次イオン質量分析装置 (SIMS)
広島大学
アルバックファイ (ULVAC-PHI, Inc.)
学内学外とも共用
ATX-E
薄膜構造評価X線回析装置(XRD) (X-ray diffraction spectrometer)
広島大学
リガク
学内学外とも共用
ZSX-400
蛍光X線分析装置(XRF) (XRF)
広島大学
リガク
学内学外とも共用
AFT 5000
干渉式膜厚計 (Spectroscopic reflectometer)
広島大学
ナノメトリクスジャパン (Nanometrics Inc)
学内学外とも共用
Dektak XT-E
表面段差計 (Profilometer)
広島大学
BRUKER (BRUKER)
学内学外とも共用
ELS-G100
超高精度電子ビーム描画装置 (Ultra high precision electron beam lithography system)
広島大学
エリオニクス (Elionix)
学内学外とも共用
DL-1000
マスクレス露光装置 (Maskless photolithography system)
広島大学
株式会社ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions, Inc.)
学内学外とも共用
MLA-150
マスクレス露光装置 (Maskless photolithography system)
広島大学
ハイデルベルグ・インストルメンツ (Heidelberg Instruments)
学内学外とも共用
スピンコータ (Spin Coater)
広島大学
タツモ(株) (TAZMO)
学内学外とも共用
L-Edit
レイアウト設計ツール (Mask layout design tool)
広島大学
Tanner (Tanner)
学内学外とも共用
酸化炉 (Oxidation furnaces)
広島大学
東京エレクトロン (Tokyo Electron)
学内学外とも共用
サムコ製 HT-1000
Rapid Thermal Anneal装置(RTA)(Rapid Thermal Annealing furnaces)
広島大学
サムコ (Samco Inc.)
学内学外とも共用
370MI- MINI
インプラ後アニール炉 (Diffusion furnaces for dopant activation)
広島大学
東京エレクトロン (Tokyo Electron)
学内学外とも共用
370MI- MINI
ウェル拡散炉 (Well diffusion furnaces)
広島大学
東京エレクトロン (Tokyo Electron)
学内学外とも共用
ポストメタライゼーションアニール(PMA)炉 (Post-metallization annealing furnaces)
広島大学
神港精機 (SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
燐拡散炉 (Phosphorus diffusion furnaces)
広島大学
神港精機 (SHINKO SEIKI Co., LTD)
学内学外とも共用
KTF453N-VP
汎用熱処理装置 (Annealing furnaces for general purpose)
広島大学
光洋サーモシステム
学内学外とも共用
(自作)
連続発振レーザアニール装置(レーザ結晶化装置)(CW OSC Laser annealing (Laser crystallization))
広島大学
(自作)
学内学外とも共用
LPCVD装置(poly-Si用)(Low-pressure chemical vapor deposition (CVD) reactor for poly-Si deposition)
広島大学
東京エレクトロン (Tokyo Electron)
学内学外とも共用
LPCVD装置(SiN用)(Low-pressure CVD reactor for SiN deposition)
広島大学
東京エレクトロン (Tokyo Electron)
学内学外とも共用
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自然科学研究機構分子科学研究所 機器センター
〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38番地
電話番号:0564-55-7490
MAIL : eqnet-office@ims.ac.jp
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