| 設置機関 | 大阪大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 分光計 > エリプソメータ |
| 製造元 | 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.) |
| 型番 | UVISEL LT NIR-NNG |
| 設備名称 | 位相変調型分光エリプソメーター (Spectroscopic Ellipsometer) |
| 装置スペック | 【特徴】 紫外~近赤外域まで測定可能な高精度分光エリプソメーターです。 高周波(50kHz)にて偏光変化を採取する位相変調機能を備えています。 【仕様】 照射領域:2×6mm 測定波長範囲:260~2100nm 光源:Xeランプ |
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