| 設置機関 | 大阪大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | デバイス > |
| 製造元 | ピーエムティー (PMT) |
| 型番 | PLS-1010 |
| 設備名称 | LED描画システム (LED drawing system) |
| 装置スペック | 【特徴】 最高輝度のLEDとDMD(デジタルミラーデバイス)によりパターン生成する最小描画線幅0.54μmの光描画装置。大型レーザーステージを装備し、4インチ全域を約1時間で描画(OFPR-5000レジストの場合)。 【仕様】 DLPを使用したマスクレス描画装置 描画方式:ステップ&スキャン方式 画分解能:0.5μm 接合精度:±0.5μm以下、 重ね合わせ精度:±1μm以下 |
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