| 設置機関 | 東京工業大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | KLA テンコール (KLA Tencor) |
| 型番 | P-7 |
| 設備名称 | 触針式段差計 (Contact surface profiler) |
| 装置スペック | Φ150mm電動ステージ > 長距離測定(最大150mm) 垂直測定レンジ(最大)327μm 垂直測定分解能(最高)0.001nm 段差測定再現性 1σ=0.4nm (1μm標準試料) 針圧範囲 0.5~50mg |
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