その他分析装置 >
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 東京大学 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | その他分析装置 > |
| 製造元 | キーエンス ブルカー 東朋テクノロジー ズースマイクロテック 日本分光 オリンパス (Keyence BRUKER Toho Technology SUSS MicroTec JASCO Olympus) |
| 型番 | VHX-6000 DektakXT Tohospec3100 Suss8”プローバ M-550 LEXT OLS5000 |
| 設備名称 | 形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.) |
| 装置スペック | 枝番1：顕微鏡 枝番2：触針段差計 枝番3：光干渉式膜厚測定装置 枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。 枝番5：分光エリプソメータ― 枝番6：レーザー顕微鏡 |
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