電界放出形走査電子顕微鏡［S4500/FE-SEM］ （２F） (Field Emission SEM (HITACHI S-4500))
学内学外とも共用
マテリアル先端リサーチインフラ
| 設置機関 | 産業技術総合研究所 |
|---|---|
| 研究科・学部 | |
| 設備分類 | 顕微鏡 > 走査電子顕微鏡 |
| 製造元 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S4500 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡［S4500/FE-SEM］ （２F） (Field Emission SEM (HITACHI S-4500)) |
| 装置スペック | ・型式:S-4500 ・試料サイズ:50 mmφ ・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃 ・加速電圧:0.5～30 kV ・分解能:1.5 nm (加速電圧15 kV, WD = 4 mm) ・試料ステージ制御:5軸モーター制御 ・可動範囲:X:0～25 mm、Y:0～25 mm、Z:3～28 mm、R:360°、T:-5～45° ・検出器:2次電子検出器(2系統) |
この設備情報の修正依頼
掲載内容に不備がある場合、情報が古い場合などはこちらから修正の報告をお願いします。